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公司产品聚焦于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速检测和量测
原子力显微镜APEX-IL
APEXIL-X1是应用于晶圆厂的在线自动化AFM量测系统。本系统可以轻松检测出晶圆缺陷，分辨率可达纳米级。同时可提供高达10mm的线性长程扫描，以及灵活的换针系统。
原子力显微镜APEX-IL
APEXIL-X1是应用于晶圆厂的在线自动化AFM量测系统。本系统可以轻松检测出晶圆缺陷，分辨率可达纳米级。同时可提供高达10mm的线性长程扫描，以及灵活的换针系统。
应用案例
公司产品聚焦于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速检测和量测
关于我们
南京埃米仪器科技有限公司是一家致力于研发和生产用于芯片制造高精密量测设备的技术企业。公司以芯片制造企业为主要客户，产品聚焦芯片制造过程中晶圆表面粗糙度、CMP 轮廓、光刻及刻蚀中的三维结构等关键指标的在线检测和量测，助力客户大幅提高产品的良率、缩短工艺的研发进程。
公司拥有一支以国家级人才为主的研发核心团队，目前已与南京大学、山东大学、南智光电研究院等国内外科研院所、机构建立密切合作关系。依托公司核心团队多年技术储备，聚焦高端量测产品开发，包含用于芯片生产过程控制的超快高精密原子力显微镜在线量测设备及高端混合技术量测设备。
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