产品描述
简介
UltraView是一款以白光干涉技术为原理，可以对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，达到亚纳米级精准量测的光学检测仪器。
埃米仪器研发的光学轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、高校科研所等领域中。
技术参数
1、相机像素：500万
2、垂直范围：400μm
3、扫描速度：
· 最大相机分辨率扫描速度：11.4~218μm/s
· 最大扫描速度：400μm/s
4、被测物体反射率：0.5%~100%
5、表面形貌重复性：＜0.15nm
6、1-?台阶精度重复性：
· 台阶高度0.4 μm <1 nm
· 台阶高度12 μm <3 nm
· 台阶高度100 μm <20 nm
7、工作环境
· 允许工作温度：10°C~35°C
· 储藏温度：0°C~45°C
· 相对湿度：10%~80%
· 电源：AC（100-240V/50-60Hz）
产品功能
- 样件测量能力
- 自动测量功能
- 编程测量功能
- 数据处理功能
- 数据分析功能
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